一是搭建产学研平台。规划建设MEMS产业孵化器，打造集研发、试验、检测、生产、交易等功能于一体的MEMS产业示范园，与清华大学共建国家高新区MEMS研究院，尤政院士工作站和6英寸硅基MEMS中试代工平台。二是聚力“双招双引”。培育引进以MEMS、机器人编码器、压电陶瓷麦克风等国际领先、国内一流项目，形成MEMS、集成电路等优势产业链，培育新恒汇电子、齐芯微科等领军企业。三是完善配套服务。与国内知名基金公司合作成立50亿元产业基金，设立2亿元人才股权投资基金和1亿元中小企业转贷应急资金，为企业人才提供多渠道融资支持。